面向全球半導體、太陽能和電子行業提供精密儀器和先進氣液輸送解決方案的技術引領者 Celerity, Inc. 今天宣布，該公司推出新型 GF100 系列質量流量控制器 (MFC)，該產品旨在精確測量、監控和控制半導體設備及太陽能電池生產工藝中的超純度工藝氣體化學反應。該新型 Celerity GF100 系列質量流量控制器是一個可高度配置的平臺，具有 Celerity 第二代專有的壓力瞬變不敏感型流量技術，可以改善工藝控制、降低擁有成本，并消除存貨管理的復雜性。

    該新型 Celerity GF100 系列質量流量控制器產品系列具有諸多重要優勢，包括高精確度、可重復的氣體測量、先進的數字架構進行的控制、為實現最大工藝靈活性和最優化對氣體和流量范圍進行原位電子再配置、壓力瞬變不敏感型流量技術設計（顯著減少了高純度氣體輸送系統的成本和體積）、以及便于自己進行簡單、有效的維護工作的嵌入式智能診斷、維修端口和軟件。

    Celerity 銷售與推廣高級副總裁 David Somo 表示："Celerity 是先進的數字超純度質量流量控制器領域的市場領導者，也是壓力瞬變不敏感型質量流量控制器領域的行業先驅。GF100 系列利用了我們在氣體流量控制領域的廣泛經驗，是對我們市場領先的精確質量流量控制器的持續改善與更新，它為客戶實現更佳的工藝控制和更低的擁有成本提供了符合 RoHS 的無縫升級。"

    Celerity 簡介

    Celerity 是一家從事精密儀器及先進氣液輸送解決方案的設計、工程及生產的技術引領者，其解決方案是半導體、平板顯示器、太陽能電池板及相關產品生產設備中不可或缺的組成部分。Celerity 總部位于加州圣荷西，在世界各地擁有約800名員工。Celerity 是一家私人控股公司，德克薩斯太平洋集團 (Texas Pacific Group) 擁有其大部分股份。