EWE公司的獨(dú)立能源技術(shù)研究中心Next Energy，向萊寶光電(Leybold Optics)訂購(gòu)了Phoebus實(shí)驗(yàn)工具以用于2012年開年的Next Energy薄膜太陽(yáng)能電池的研發(fā)。Next Energy一直關(guān)注硅薄膜技術(shù)，他們的科學(xué)家也一直在尋找提高電池轉(zhuǎn)換率的方法，他們指出會(huì)找到降低成本的技術(shù)。

Phoebus實(shí)驗(yàn)工具據(jù)說(shuō)可以噴涂襯底5ml厚以及300x300ml的表面，此外還可以噴涂不同形狀的小襯底。萊寶光電表示系統(tǒng)和等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)共同運(yùn)作使工具有相同的可擴(kuò)展過程室布局，此外還提供薄膜電池和三結(jié)電池連接處的串聯(lián)電池以及個(gè)體層。

此外該公司還指出，個(gè)別的氣相沉積在單獨(dú)進(jìn)程室中會(huì)阻止進(jìn)程室中的交叉污染。玻璃襯底以持續(xù)和穩(wěn)定的溫度保持在不間斷的真空中。

Next Energy光伏部門的負(fù)責(zé)人Karsten von Maydell博士就萊寶光電的未來(lái)評(píng)論到：“靈活的Phoebus實(shí)驗(yàn)工具是加速光伏和硅薄膜研發(fā)技術(shù)領(lǐng)域理想的基礎(chǔ)工具。我們利用該系統(tǒng)的可擴(kuò)展性進(jìn)一步優(yōu)化層壓太陽(yáng)能電池，用創(chuàng)新的硅合金開發(fā)三結(jié)太陽(yáng)能電池。”