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2011-05-18 20:56
豐常令人頭痛的問題-裂紋
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虛心請教高手們一個我解決不了的問題,在這里先行謝過!!
我們現使用梅耶博格的BS805帶鋸進行單晶棒的開方,但是,最近在晶棒底部出現裂紋,我降低過出刀時工作臺的進給速度,也做過其它的一些其它的實驗,甚至加快過出刀時的進給速度人,但是一點效果都沒有。這種裂紋嚴重會導致晶棒底崩裂,輕的有細小紋路及亮點。而且現在裂紋出現沒有規律,時有時無。請問這種裂紋的產生是不是因為切割造成的,怎么解決?是不是單晶棒本身的問題?
急盼回應,謝謝
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