《當代多晶硅生產工藝技術概論》

第一章 前言
第二章 現代多晶硅工廠的基本構成
第三章 原材料制備系統
第四章 三氯氫硅合成系統
第五章 三氯氫硅提純系統
第六章 氫還原單元
第七章 還原尾氣回收系統
第八章 四氯化硅氫化單元
第九章 氫化尾氣回收系統
第十章 熱氧化技術回收廢棄氯硅烷
第十一章 多晶硅后處理單元
第十二章 安全及環境保護系統
第十三章 工藝支持系統
第十四章 公用工程
第十五章 輔助系統
第十六章 附錄
第十七章 參考文獻