對太陽能硅片進行檢測
太陽能多晶硅晶片和單晶硅晶片的生產過程涉及到機械,濕化學,熱學和電子物理過程,從硅碇上切割下的晶片,進行蝕刻,摻雜。所有這些工藝過程,以及工藝間的晶片搬運,都會引入應力,從而導致晶片的缺陷。例如: |
Op-tection晶片檢測的在線和離線解決方案 晶片檢測系統依據太陽能光伏工業需求進行設計,可集成到生產線上 實現在線檢測,也可構建獨立離線式檢測系統對一批晶片的缺陷進行檢測。
這兩種情況都不需要生產線停頓,都可在生產運 轉中實現測試。為了提供精確、穩定的檢測結果,利用高分辨率的行掃描攝像頭,利用增強型近紅外光譜,并配備近紅外光學優化透鏡,利用LED光源(避免鹵素光源照明的缺點),獲取穩定、高分辨率圖象,實現精確檢測。
強大功能的缺陷分析處理軟件,包括信息預處理,濾波算法,以及高效的圖象數據分析處理算法分辨出灰度圖象非常近似的晶格和微裂紋。避免良品誤判,也避免缺陷晶片混入到下一步工藝— 電池片的生產中。增加良率,確保有效的質量控制,降低了成本,從而實現了生產效率的提高。 用戶界面顯示了實際的檢測狀態,包括測
試結果的統計。 圖象和測試參數都可存儲在PC的數據中,通過網絡可訪問數據庫,并可實現進一步的檢查和統計分析。
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晶片檢測系統在線檢測方案
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太陽能硅片WAFER缺陷檢測機(在線或離線)