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特氣柜,閥門箱,尾氣處理設備,高純氣體純化器

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特氣管道安裝
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最后更新: 2011-11-04 13:25
 
詳細信息

上海茂竺以高端技術產品和技術服務相輔并進的快速發展模式。為半導體、醫藥及生物芯片等行業提供廠務所必需的潔凈材料部件(隔膜閥、EP(BA)管道等)以及特殊氣體設備[例如特氣柜(GAS CABINET) 、閥門箱(VMB)],化學品供應系統(例如CDU、TEE-BOX、SAMPLING BOX)。
上海茂竺信奉以客戶為中心的服務理念,提供設備安裝及二次配管等一系列高純系統的整體解決方案,采用自動軌道焊接技術(即自動氬弧焊接Automatic Weld),具體內容覆蓋了從方案設計到安裝、測試等方面。茂竺電子通過控制項目的重復設計和建設,達到花費項目資金和周期的最小化。
我們主要服務于以下各行業:
高亮度發光二極管外延HB-LED: 主要工藝設備 MOCVD 光刻機等
有機發光二極管OLED: PECVD, 濺射臺,蒸發臺OLED臺,OTFT臺,
太陽能電池:主要工藝設備 PECVD,SPUTTER等
硅外延:外延爐
微機電系統MEMS:主要工藝設備RIE,LPCVD,ICP,等離子清洗機,濺射機等
醫藥及生物芯片:
平面及等離子顯示器:
化工:
其他材料薄膜制造設備:APCVD,LPCVD,MBE,HVPE等。
        特氣設備及潔凈部件(特氣鋼瓶柜、閥門箱)主要用于控制高純特殊氣體,又稱電子特氣,包括氫氣H2、氮氣N2、氧氣O2、 氬氣Ar、磷烷PH3、砷烷AsH3、硅烷SiH4、乙硼烷B2H6、氨氣NH3、三氯一氫硅烷TCS、Freon氟利昂氣體、 氯氣CL2、氯化氫氣體HCL、三氯化硼BCL3、三甲基硼TMB、硼烷B2H6、二氯二氫硅烷DCS等等多種氣體或液化氣體。同時,提供危險氣體的泄漏探測器(探測系統)及一般氣體的濃度偵測等服務。

產品及服務:
上海茂竺 的特氣設備有特氣柜(Gas Cabinet或稱鋼瓶柜、氣瓶柜),氣體流量控制箱(Gas Box by MFC),閥門箱(VMB),閥門盤(VMP),氣體偵測器(Gas Detector),廢氣處理器(Scrubber)以及化學品供應機臺(CDU、TEE-BOX、SAMPLING BOX)。
上海茂竺公司還提供特氣設備的安裝服務、特氣系統的二次配管及化學品供應機臺的安裝、化學品供應管道的配管等高潔凈要求的業務。
從日本、歐美等發達國家進口的電子級材料,如EP級 (BA級、AP級)不銹鋼管道(Tube,SS316L,SS304,或稱電子級管道、超高純管道、潔凈管道),隔膜閥(Diaphragm Valve), 減壓閥(Regulator,或稱調壓閥),過濾器(filter,0.003μm),fitting(Gland ,Tee …)等等超高純特殊氣體系統中必需采用的各類零部件。同時,提供危險氣體的泄漏探測器(探測系統)及一般氣體的濃度偵測等服務。
  
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